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對象基板 | ||
?尺寸 | L100 × W50 ～ L560 × W460mm | |
?貼裝后的元件高度 | 上面40mm、下面80mm (生產線上使用時為40mm) | |
?翹曲度 | 2.0 mm 以下 | |
?重量 | 2.0kg 以下 | |
X射線檢查 | TypeHD | TypeHB |
?X射探測器 | FOS平板式 | 直接轉換式 |
高速型 | 耐用型 | |
?分辨率 | 7～54μm | 18～54μm |
?最大視野 | 62 × 78mm | 52 × 45mm |
?檢查速度 2D-X | 93.7?/sec | 24.0?/sec |
?檢查速度 3D-X | 15.5?/sec | 4.0?/sec |
?方式 | 采用X射線CT進行三維斷層檢查 | |
?X射線源 | 微焦點密封管 | |
?管電壓 | 最大 130KV | |
?檢查區域 | 3D： L510 × W460 mm、2D： L560 × W460 mm | |
?(基板中央部) | ||
光學檢查 | ||
?檢查速度 | 0.4 秒 / 視野 | |
?分辨率 | 10μm / 19μm | |
?照明 | 3層圓頂照明、上層R?G?B?紅外線、中層R?G?B、下層R?G?B | |
?攝像系統 | 數碼彩色相機、遠心鏡頭 | |
?檢查區域 | L560 × W460 mm | |
激光檢查 | ||
?分辨率 / 方式 | 5μm (高度方向) / 采用通過激光光束進行三角法測量的測距傳感器 | |
?檢查區域 | L510 × W360 mm | |
?(基板中央部) | ||
X射線泄漏量 | 0.2 μSv/h 以下 | |
電源規格 / | 三相 AC 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60 Hz / 0.4MPa以上 | |
外形尺寸 / 重量 | L1,710 × D1,883 × H1,705mm（突起部除外）/ 約 2,900kg | |
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